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丙烷安全技術(shù)說明書(GHS)
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高純氧氣安全技術(shù)說明
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丙烷-危險化學(xué)品安全周知卡
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氨氣安全技術(shù)說明書MSDS
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包頭氣體在半導(dǎo)體外延中的作用
2025-02-08事實上,外延生長主要是一個化學(xué)反應(yīng)過程。包頭氣體氫氣和氯硅烷是硅外延生長的主要氣源,如四氯化硅(sicl4)、三氯甲硅烷(sihcl3)和二氯甲硅烷(sih2cl2)。